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장비
장비 및 시설 기본정보
3차원표면프로파일러
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nanofocus |
| 모델명 | μSurf |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-03-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C517 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 비접촉식 3차원 구조 분석 장비로 비접촉식으로 샘플의 3D단차를 측정하고, 표면 Roughness 을 Real color image 등을 정확히 측정할 수 있다. 나노미터 이상부터 밀리미터 이하의 표면을 고 형상 3차원으로 측정Vertical measurement range : 1nm to 10mm - Vertical scan resolution : up to 1nm - Lateral scan resolution : up to 0.3㎛ ; objective dependent - RMS Repeatability : 0.01nm - Vertical scan speed : up to 10㎛/sec - Field-of-View : -> Objective 10x: 1600 x 1510 (μm) -> Objective 20x: 800 x 755 (μm) -> Objective 50x: 320 x 302 (μm) -> Objective 100x: 160 x 151 (μm) - angle measurement : 53 degree - Z-drive driving range -> Stepping Motor: 100mm precision z-drive unit for positioning and measuring -> Piezo Drive: 350um시편 ~ 6" 까지 가능하다. 측정하고자 하는 물질이 빛이 투과하는 경우 측정 불가능 화면 캡쳐 및 측정 수치 데이터 ASCII 파일 저장 가능 Lamp 사용 후 반드시 OFF 해야 한다 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/1178292842_1.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 1층 C3 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-014231 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013218 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |