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장비
장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | TOPCON |
| 모델명 | ABT-32/R |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1992-12-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 배재대학교 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 전자총에서 만들어진 약 50~10μ∮의 전자선이 고진공속에서 3개의 축소자계 렌즈를 통과하면서 약 100Å~10Å정도의 전자선속(전자선다발)으로 축소시켜 주사용코일을 사용하여 2차원적으로 시료표면상에 주사시킨 후 시료에서 발생된 각각의 에너지를 증배관을 통하여 전기신호로 바꾸어서 그 신호를 CRT(모니터)와 프로브전류(주사전류)와 동기해서 CRT(모니터)에 BEAM을 휘도 변조시켜서 TV와 같은 방식에 의해 2차원작인 주사상에 얻는 장치이다. 전자현미경은 일반적으로 광학현미경과 달라서 초점심도가 깊기 때문에 파탄면 및 굴곡등 아주 복잡한 표면구조를 직접 높은 배율로 관찰할 수 있다. 또 시편(sample) 준비가 간단하며 조작이 쉽고 비교적 넓은 범위의 배율을 갖는다. 보통 10배부터 30만배까지 시료를 관찰할수 있다. 시료에 주로 이차전자가 대부분을 차지하며 반사전자(원자번호의존성이 있다.) 음극관(CL) X선(원소분석) 시료전류 투과전자등이 발생한다.구성및성능 - electron Gun - column unit - camera - CRT - operation panel - image viewing unit - RP (oil Rotary Pump)활용분야 재료의 표면미세구조 관찰 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702053681.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 서구 도마2동 배재대학교 439-6 배재대학교 하워드관 1층 H106 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-06-032051 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013756 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |