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삼차원 현미경

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보유기관명	성균관대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F200
표준분류명
시설장비 설명	본 삼차원현미경은 3축 정밀 측정이 가능한 설비로서 특히 MEMS에서 Si식각 패턴된 전기도금 등의 형상 및 사이즈 등을 정밀 관찰 및 측정할 때 사용하는 설비임.구성및성능 - Microscope Type : Confocal scanning laser microscope - Scan speed : 5 frame/sec - X-Y Resolution : 0.12 ㎛ - Z drive Resolution : 0.01 ㎛ (built-in 5 nm scale) - Magnification : 120x ~ 14430x - Detection : PMT - Laser source(파장) : 408 nm - Z stage (stroke) : 100 mm - X-Y stage (stroke) : Max 100*100 mm활용분야 삼차원 측정 명시야(컬러) 암시야 미분간섭 관찰
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200806/.thumb/20080624170025.JPG
장비위치주소	경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 4층 81401
NFEC 등록번호	NFEC-2008-06-071835
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0012376
첨부파일