| 보유기관명 |
서울대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A408 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
Fast Spectroscopic Ellipsometer
분해능: 1.6 nm 측정두께범위: Spectral range:193~2200 nm 제어보정장치유무:유 이동재물대유무: 무 데이터산출방식: WVASE32 프로그램 입사각변화가능유무: 유 광원:Xe램프 75 Wnull분석가능물성:분석가능대상:수nm~10μm시료 semiconductors dielectrics polymers metals |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200804/.thumb/20080410162644.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 1층 C1-9 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2008-04-053089 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0012898 |
| 첨부파일 |
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