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장비
장비 및 시설 기본정보
표면분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Riken |
| 모델명 | AC-2 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-06-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전자부품연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A400 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1.특징 본 연구장비는 표면분석기(일함수 측정기)로 박막의 Work function(일함수)를 측정 할 수 있는 장비로 주로 Photoelectron을 이용한 박막의 표면측정이나 ITO 와 같은 투명 산화막의 일함수를 측정하는데 사용함.2. 구성 및 성능 ○ Sample Size : 50 x 50 mm ○ Sample Thickness : 10 mm ○ Energy Search Range : 3.4 ~ 6.2eV ○ Repeatability : 0.02eV ○ UV Lamp : Deuterium Lamp ○ UV Spot Area : 2~4 mm ○ Measuring Time : 10sec / 1 sample3. 주요 용도 ○ Photoelectron을 이용한 박막 표면 측정 ○ 박막 Work Function 측정 ○ Ionization Potential 측정 ○ 산화막 두께 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110119105103.JPG |
| 장비위치주소 | 전북 전주시 덕진구 팔복동2가 820번지 전자부품연구원 나노기술집적센터 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-08-065204 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009864 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |