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저진공주사전자현미경

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보유기관명	구미전자정보기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	장비성능 1. Chamber vacuum ; 6e-4 to 2600 Pa 2. Resolution - High- Low- E-vacuum ; 3.0 nm at 30 kV(SE) 3. Energy Dispersive Spectrometer - Resolution ; 129 eV - Detectable elements ; 4Be to 92U 규격 • Vacuum mode(Pa) High(<6×10-4) Low (10 to 130) E-mode(10 to 2600) • SE resolution 3.0 nm at 30 kV in high-vacuum용도 - 각종 재료의 표면 및 단면 구조 관찰 - 금속 무기재료 반도체 섬유 고분자 천연재료 등
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111014193945.jpg
장비위치주소	경북 구미시 산동면 봉산리 구미국가산업단지 제4단지 13블럭 1-1 구미전자정보기술원 진흥관 3층 317
NFEC 등록번호	NFEC-2008-09-067905
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0010990
첨부파일