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장비
장비 및 시설 기본정보
스핀코터 (stand-alone type)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 젠시스 |
| 모델명 | GMSC801 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-07-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 특징 스핀코팅을 통한 레진 증착/Standalong 타입으로 안정성과 필름 균일성이 우수함진공척을 다양하고 구비하고 있음 나노입자잉크의 코팅도 가능함. 이때 농도를 가능한 낮게 유지할 필요가 있음 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110124190837.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-01-135843 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0011693 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |