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장비
장비 및 시설 기본정보
잔류PR 세정장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 펨토사이언스 |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-07-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 반도체 공정장비로서 포토리소그래피 공정 후 잔류 PR을 제거하기 위하여 플라즈마를 이용하여 PR을 식각하여 제거하는 장비임. 가스를 교체할 경우 무른 재료의 식각에도 사용할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201507/2015072192659973.jpg |
| 장비위치주소 | 첨단방사선연구소 방사선기기연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-07-203850 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057936 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |