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주사선현미경용 미세도안 제작 시스템

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명	ZEUS
장비번호
제작사	Jc Nabity Lithography Systems
모델명	NPGS
장비사양
취득일자	2008-01-01
취득금액

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국원자력연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C501
표준분류명	기타
시설장비 설명	1. 특 징: 주사 전자 현미경 (SEM)의 전자총에서 발생하는 전자 빔을 이용하여 시편의 표면 위에 nm 정도 크기의 미세한 선으로 원하는 도안을 그려주는 장치로서 외부에 연결된 Computer에서 Software를 이용하여 필요로 하는 도안을 그린 후에 SEM에 연결하게 되면 SEM의 주사 코일을 제어하여 Computer에 도안한 대로 전자빔을 조사함으로서 원하는 미세도안을 시편위에 그릴 수 있게 함.이 장비는 리소그래피 패턴을 형성하기 위하여 사용되는 장치로서 반도체 양산장비와는 달리 SEM에 부착하여 사용할 수 있는 장점이 있어서 실험실 차원에서의 적용이 가능함.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110114171556.jpg
장비위치주소	첨단방사선연구소 RFT 실용화연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2008-07-074922
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0008957
첨부파일