초저전압 고분해능 전계방사형 주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Jeol |
모델명 | JSM-7900F |
장비사양 | |
취득일자 | 2018-12-21 |
취득금액 |
보유기관명 | 재료연구소 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | 분석 |
시설장비 설명 | 초저전압 고분해능 전계방사형 주사전자현미경는 shottky type 전자총이 차용된 고분해능 전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)으로 나노 미세구조 분석에 대응하며, 화학적 조성 분석을 위한 에너지 분산형 X선 분광기(EDS)와 결정방위 분석이 가능한 전자후방산란회절장치(EBSD), 탄화수소 오염을 제거하는 플라즈마 클리너 부대장치가 달린 본장치 1대와 저온 단면이온빔폴리셔 (CCP: Cooling cross-section polisher) 1대와 고분해능 전도성 코팅기 1대를 포함하는 1세트로 구성됨 |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201812/201812271314184.png |
장비위치주소 | 연구4동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2018-12-248007 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202005292157 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |