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OLED용 유기박막 증착장비

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보유기관명	구미전자정보기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C508
표준분류명
시설장비 설명	* 상세 설명 - 유기물질을 박막 증착과 같이 온도를 올려서 열을 가해주어서 기화되서 이동하여 기판에 증착이 되는 형식이다. - 일정온도까지는 변화가 없는 유기물질만 가능 - 유기 박막 트랜지스터와 같은 소자 제작시 사용함.* 장비 성능 1. Substrate : 100 × 100 2. Effusion cell : 5ea 3. Auto plasma cleaning 4. CRTM programing 5. Vaccum ; ~10E-7* 용도 - 저분자 재료의 증착 - 유무기 복합소자 제작 - 실시간 두께 조절 및 분석 가능
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110927103110.jpg
장비위치주소	경북 구미시 산동면 봉산리 구미국가산업단지 제4단지 13블럭 1-1 구미전자정보기술원 진흥관 6층 612
NFEC 등록번호	NFEC-2008-09-067524
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0010808
첨부파일