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정밀 마스터 미러

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보유기관명	한국기계연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F201
표준분류명	계측
시설장비 설명	이송계의 진직도 오차를 측정하기 위해서는 일반적으로 레이저 간섭계가 사용되나 정밀도 한계로 인해 약 2 μm 이내의 정밀한 직진도 오차의 측정에는 적절하지 않다. 보다 정밀한 진직도 오차의 측정을 위해서는 약 0.2 μm 이내의 오차를 가진 정밀 마스터 미러와 초정밀 변위센서(정전용량형 센서 등)를 이용하여 측정하거나, 이 보다 더 정밀한 측정을 위해서는 축차이점법 등의 오차분리기술을 사용하게 된다. 축차이점법의 경우에도 두 개의 초정밀 변위센서와 정밀 마스터 미러가 필요하다. 본 Precision Master Mirror는 이상에서 언급한 진직도 오차의 초정밀 측정을 위해 사용되는 초정밀 광학부품이다.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201207/20120709180228.jpg
장비위치주소	한국기계연구원 연구14-D동
NFEC 등록번호	NFEC-2012-07-166862
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201904198931
첨부파일