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장비
장비 및 시설 기본정보
표면분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | AS-IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-04-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 본 연구 장비인 알파스텝(두께박막 측정기)는 마이크로패턴의 모양 및 두께 측정, 박막 코팅 후 단차 측정을 위해 필요한 연구 장비입니다. - scan length : 10mm - scan speed : 2um/sec to 200um/sec - scan method : Bi-directional moving stylus. 양방향 측정가능 - sampling rate : 50, 100, 200, 500, 1000Hz - stylus force : 1~200 mg manually adjustable |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/20150325105246826.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L4) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-03-200458 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053935 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |