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장비
장비 및 시설 기본정보
감광제 수동 현상장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 두리텍 |
| 모델명 | WS-1810 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2018-08-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | - Organic Solvent ( PR , Developer, Thinner, Acetone etc.) Bath로 포토공정에서 노광된 웨이퍼를 develop 공정을 진행 및 rinse 공정을 진행하는 장치이며, Acetone 용액을 이용하여 metal lift-off 공정을 진행하는 장치임 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201903/20190307135555939.jpg |
| 장비위치주소 | 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-03-254748 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201905099096 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |