| 시설장비 설명 |
○ 우수한 감도 SENTECH사의 SENpro Ellipsometer는 Step Scan Polarizer방식의 측정 원리로 측정 시 빠르게 멈추어 측정 후 이동하는 고유한 측정 원리는 민감한 시료들에서 Noise가 커져 측정이 어려웠던 부분들을 Noise를 최소화하여 측정할 수 있는 능력 보유 ○ 우수한 Library 다양한 막질의 정보를 가지고 있으며, 이를 고객과 같이 공유하며 이용하여 다양한 시료들에 대해 쉽게 Modeling을 통한 측정이 가능 ○ 탁월한 Align기능 Ellipsomter는 미세 박막을 측정하는 장비로 시료의 높이와 기울기의 차이는 측정 결과의 신뢰도에 큰 영향을 미침. Auto Collimating Telescope를 이용하여 손쉽고 빠르게 보정하여 항상 최적의 상태에서 측정 결과를 제공. 시료 측정에서 오는 오차를 최소화. ○ 넓은 분광 영역 동종의 경량 소형 Ellipsometer 중에 가장 넓은 분광 영역을 제공 ○ 넓은 측정 각도 넓은 범위의 입사각과 측정각의 변화 다양한 분광 측정 및 분석을 용이 |
