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열증착기 시스템

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보유기관명	한국화학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명	계측
시설장비 설명	기능 - 열증착기시스템은 태양전지 소자의 전극으로 사용되는 금속 (금, 알루미늄,은 등)을 고진공 하에서 열증착 방식을 통해 박막을 소자 기판에 제작할 수 있는 장비로써 이는 프로세스 챔버, 진공 모듈, 시스템 제어 모듈 등으로 구성되어 있음.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201502/20150225112329103.jpg
장비위치주소	한국화학연구원 1연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2015-02-198771
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049832
첨부파일