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장비 및 시설 기본정보
금속이온주입기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 인악타썸 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1994-12-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D101 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 제작된 장치는 지금까지 개발된 기체 이온주입기술을 보완하며 비반도체 분야는 물론 반도체용으로도 기초적인 적용이 가능하도록 하였다. 특히 금속 이온중 내식성 내마모성 등에 응용성이 큰 Cr Ti Ta Sn Y Pd 등의 금속 이온과 B P As O등 반도체 공정에 사용되는 이온을 생성 가속 할 수 있도록 개발되었다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110126200226.jpg |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1997-12-028607 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0014542 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |