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보유기관명	한국전자통신연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C510
표준분류명	생산
시설장비 설명	1. 특징 - 감광막 제거(PR Strip) 공정에 사용 - 제작회사 : 서울엘렉트로론(한국) - 모델명 : SPS-6000 2. 적용 공정 : 싯각공정 등을 위하여 wafer 위에 형성했던 감광막(PR patten)을 제거하는 공정에 사용하는 장비로서 전공정용이기 때문에 후공정(메탈공정) 웨이퍼는 사용이 불가함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110113173621.JPG
장비위치주소	한국전자통신연구원 4동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-134906
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812179759
첨부파일