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장비
장비 및 시설 기본정보
300mm용 플라즈마 폴리 에처
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | ㈜제이하라 |
| 모델명 | RM300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2018-10-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 5mTorr에서 100mTorr 범위의 분위기에서 2000W급 13.56MHz RF source power를 이용하여 inductively coupled plasma 발생시키며, 1000W급 RF bias power를 통해 이온에너지를 제어하고, F, Cl 계열 할로겐족 가스를 사용할 수 있다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201812/20181217211653858.jpg |
| 장비위치주소 | 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-248197 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201903127188 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |