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장비
장비 및 시설 기본정보
마스크 정렬기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Quintel |
| 모델명 | quintel Q4000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1997-07-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 현미경과 미세한 조절이 가능한 lever를 이용하여 wafer와 mask를 정렬한 뒤, 자외선 lamp를 사용하여 mask의 pattern을 wafer에 옮김 구성및성능 1. lamp 2. wafer mask 및 holder 3. alignment control disc 4. 현미경 5. 모니터 활용분야 실리콘 wafer와 mask를 정렬하여 pattern을 옮김 실리콘 wafer의 뒷면에 mask의 pattern을 옮김 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images// |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-10-034279 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0051958 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |