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장비
장비 및 시설 기본정보
스퍼터 박막증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVS-2000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-08-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 박막스위칭 소자용 칼코지나이드계 반도체 박막소재 개발을 위한 장비로서 특히 비소를 포함한 다원계 칼코지나이드 반도체 박막재료를 Radio-Frequency (RF) 스퍼터 공정에 의해 제작하기 위한 박막 증착용 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110919100102.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L0) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-09-149857 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST-00035 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |