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장비 및 시설 기본정보
화학약품 식각 및 세정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Atis |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-12-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 특징 - chemical supply system을 갖추고 있어 bellows pump에 의해 자동으로 공급되도록 구성됨. - 중앙공급식이 아니기 때문에 chemical supply system의 bottle을 주기적으로 교체해야 함 - 화학약품은 설정온도에 자동으로 콘트롤 됨. - 화학약품의 particle 제거를 위해 chemical filter가 설치되어 있으며 일정기간 사용 후 교체해야 함. - DI rinse는 QDR(quick Dump Rinse) type으로 구성되어 있어 recipe에 의해 작동함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110118095154.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-134404 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812179741 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |