- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
알파스텝
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Veeco |
| 모델명 | Dektak 6M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-06-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F804 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 1A 정도의 해상도를 가지며 박막을 다이아몬드 팁으로 긁어가며 단차를 측정하는 장비로써 여러 분야의 박막의 단차를 측정하는데 사용할 수 있는 장비이다. 현미경이 옆에 장착되어 원하는 측정범위를 직접 지정할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201407/201407081614228.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 미래융합소자동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-190172 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KAIST_EE-00016 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |