- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
칼서스 마스크 얼라이너
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Karl Suss |
| 모델명 | MJB3 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1998-12-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 화합물 반도체 공정중 마스크 얼라이너(Mask Aligner)는 포토리소그래피(Photolithograpy)를 통해 원하는 상을 입히는 과정에 사용되는 장비입니다. 컨택 마스크 얼라이너방식을 사용하고 있습니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201407/2014070814175786.PNG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 미래융합소자동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-189880 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0044109 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |