| 시설장비 설명 |
1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 제작하고 있다. 특징으로는, 우선 가격면에서 같은 용량의 확산 펌프에 비해 상당히 비싸다. 10-2~5×10-10 Torr 영역에서 사용 가능하며 확산 펌프에서처럼 오일을 사용하지 않기 때문에 매우 깨끗하다. 회전축에 있는 베어링(Bearing unit)에 약간의 윤활제를 사용하고 있으나 큰 문제는 안 된다. 요즘은 자기부상의 원리(Magnetic levitation)로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있다. 질량이 큰 탄화수소(Hydrocarbon)에 대한 압축비(Compression ratio)가 크기 때문에 보조 펌프(Backing pump)로부터 오일이 역류할 확률이 극히 작다. 다른 고진공 펌프에 비해 작동의 시작 및 종료의 과정이 단순하고 시간도 적게 걸린다.(10분 이내) 배기 속도가 수백 ℓ/sec로 비교적 용량이 큰데 배기 속도는 펌프의 회전속도에 비례하며 이 속도를 조절할 수 있도록 되어 있는 모델도 있다. Sputtering 증착의 경우는 보통 수 mTorr 영역에서 시행이 되는데, 앞에서 얘기했듯이 이 영역에서는 확산 펌프의 경우 역류의 가능성이 크다. 이런 경우에 터보 펌프를 저속으로 두고 사용하면 좋다. 진동이 약간 있으나 문제가 되면 Vibration isolator를 설치하면 어느 정도 줄일 수 있고 수평 또는 수직 설치가 가능하다. |
