| 보유기관명 | 재료연구소 | 
				
					| 보유기관코드 |  | 
				
					| 활용범위 |  | 
				
					| 활용상태 |  | 
				
					| 표준코드 | A206 | 
				
					| 표준분류명 | 시험 | 
				
					| 시설장비 설명 | 본 장비는 고진공과 저진공을 동시에 구현하며 thermal type의 gun을 이용함으로써 높은 분석능과 고해상도를 동시에 구현할수 있고 SEM(detecter 30m㎡)을 이용하여 기존의 EDS분석능을 대폭강화하였고 EBSD(TSL Hikari)를 부착함으로써 결정방위 분석속도와 기능을 향상시켰음. 비전도성 물질관찰에 필요한 저진공 기능과 코팅 표면처리 등에 필요한 부가장비등을 모두 갖추고있는장비. | 
				
					| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201406/20140617183430489.JPG | 
				
					| 장비위치주소 | 재료연구소 연구4동 | 
				
					| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-08-147498 | 
				
					| 예약방법 |  | 
				
				
					| 카타로그 URL |  | 
				
					| 메뉴얼 URL |  | 
				
					| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202006045327 | 
				
					| 첨부파일 |  |