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마스크정렬노광기

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보유기관명	한국전자통신연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C501
표준분류명	생산
시설장비 설명	특징 - 1:1 MIRROR PROJECTION ALIGNER - Proximity process UV process - 반도체 제조과정에는 UV 빛을 쬐어 회로를 그리는 노광 과정이 있으며 이는 사진을 인화하는 과정과 비슷한데 마스크(필름)를 겹친 위에서 빛을 쪼이는 장비가 노광기다. - 노광 방식에는 유리기판과 마스크를 맞붙여서 하는 컨택방식과 일정한 거리를 두고 빛을 쪼이는 프로젝션방식이 있다. 그리고 이 두 방식의 중간 수준인 프록시미티(Proximity 근접) 방식 등 3가지로 분류된다. 본 장비는 프로젝션방식이며 복사기처럼 스캔하는 형태의 노광기로서 캐논에선 노광장비를 얼라이너(Aligner)라고 부른다
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110121173320.JPG
장비위치주소	한국전자통신연구원 4동
NFEC 등록번호	NFEC-2008-12-135396
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812179735
첨부파일