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장비 및 시설 기본정보
1M급 대면적플라즈마화학기상증착시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아텍시스템 |
| 모델명 | ATS-APCVD200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-08-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 1M급 대면적플라즈마화학기상증착시스템은 실리콘 박막태양전지 제작을 위한 증착장비로서 다양한 반응성 가스를 이용하여 유리기판위에 산화물 및 금속박막을 상압에서 플라즈마를 활용하여 기상 증착하는 시스템임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201409/2014091717139410.JPG |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-09-191308 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0045155 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |