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장비
장비 및 시설 기본정보
하이브리드 SPM
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Veeco |
| 모델명 | Nanoscope IV |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-03-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 특징 Nanoscope IV 는 Veeco사의 4세대 AFM 으로 우수한 분해능 (0.1 nm)을 가지고 있 으면서 closed loop 기능이 부가되어있어 리소그라피등에도 이용 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201102/20110208115536.jpg |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 11연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047327 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007340 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |