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장비
장비 및 시설 기본정보
배기가스 정화기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Edwards |
| 모델명 | ATLAS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-07-05 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C609 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 - 디스플레이 및 반도체 제조공정에 사용 되어지는 공정 가스 및 세정 가스는 자연 발화성 부식성 독성 지구 온난화에 영향을 미치는 성질로서 이를 완전히 처리되지 않고 미처리되어 외부로 배기 하거나 누설에 의한 내부 확 산 시 1차적으로 주변 환경의 오염을 발생시킬뿐만 아니라 2차적으로는 내부 작업자 들의 인체에 치명적인 영향을 가져 올 수 있다. 따라서 이러한 gas를 처리하 여 대 기 기준에 맞추어 배출한다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110311152040.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 호남권 지역본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047518 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00605 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |