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장비
장비 및 시설 기본정보
플라즈마 클리너
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | E.A. Fischione Instruments |
| 모델명 | 1020 Plasma Cleaner |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-12-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 -투과전자현미경 시편 플라즈마 세척기구성 및 성능 1) Plasma system -High frequency(13.56 MHz) oscillating field system coupled to a quartz and stainless steel plasma cleaner. -Ion energy : less than 12 eV -JEOL 및 GATAN holder 사용 가능 2) Vacuum system -Oil-free turbomolecular drag pump backed by a multi-stage diaphragm pump. -Ultimate vacuum : 1 x 10-7 mbar 3) Gas -25% oxygen and 75% argon -Nominal 10 psi(200 kPa) delivery pressure 4) User interface -Single control panel to initiate vacuum plasma and timer. 5) Power : 100/200 V겸용 660 watts |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110129175544.jpg |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 대덕대로 1045(덕진동 150-1) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-01-055532 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008406 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |