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장비
장비 및 시설 기본정보
고주파전원장치 및 MATCHER
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Pearl Korea |
| 모델명 | M-50A2VS-100M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-05-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | - "대면적 실리콘 박막태양전지 핵심소재 공정개발 및 평가 기반구축" 과제를 수행하기 위해 대기압 근처에서 플라즈마를 발생시켜 Si 박막을 고속으로 증착을 위한 장비 - 본 장비는 일반 13.56MHz보다 높은 100MHz를 인가하기 때문에 10~100배 높은 전자 밀도를 발생시켜 높은 증착속도를 가능하게 함. - 본 장비는 정상적으로 작동되기위해서는 Power generator를 포함하여, Matcher도 필요합니다. Matcher는 원하는 파워를 전극에 인가하기 위해 저항을 맞추는 역할을 합니다. - 플라지므 발생용 WHF power generator로 회로내의 저항을 조절함으로써 원하는 전극에 파워를 최대한 으로 전달하게 하기위한 장치 이고 RF 전원장치에 비해 고밀도 고밀도 플라즈마를 발생시켜 박막을 고속으로 증착시킬 수 있습니다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/2014051913484558.JPG |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-08-147215 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202006045328 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |