| 시설장비 설명 |
연구를 수행하는 과정에서 다양한 시료와 소자의 여러 가지 전기적 특성의 정밀한 측정 및 분석이 요구 됨. 이러한 시료와 소자에 대한 평가는 같은 실험을 정확하게 반복적으로 재현 할 수 있어야 하며 또한 일반적인 측정의 한계에 이르는 정확도로 측정하기 위하여 이미 특성이 검증된 장비가 필요함. Cascade MicroTech. Inc.의 Probe Station은 약 223 여개의 미국 특허와 21개의 유럽 특허 그리고 9개의 PCT 등 많은 특허와 기술 축적으로 개발된 신뢰성이 검증된 장비임. 본 연구 프로젝트에서는 소자가 얇은 dielectric 물질위에 제작되게 되는데 소자의 작동여부를 probestation으로 확인하는 과정에서 기존의 장비로는 많은 경우에 dielectric 물질이 손상을 입게 되어 장비활용이 제한적임. 상기 구매 예정인 장비 Probe Station EPA 150FA는 이와 같은 연구에 적합하도록 개발되었음(특허1). 기존의 장비는 특히 위의 조건 중 1번 2번과 4번을 만족하지 않을 뿐만 아니라 wafer scale로 제작된 소자를 반복적으로 확인할 때 필요한 필수적인 2번과 3번 기능이 없거나 검증되지 않았음. 구매 예정 장비의 이러한 특성은 기존의 저가장비와 크게 구별됨. 마지막으로 위에 제시한 장비는 femtoampre 수준의 미세전류를 측정가능하게(특허 4) 제작되어 소자의 작동에서 중요한 gate의 leakage current를 조사하는데 유용함. 기존의 장비는 언급한 수준의 미세전류를 신뢰도 있게 측정할 수 있게 개발되어 있지 않음. |
