원자층 증착 장비
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Cambridge Nanotech |
모델명 | S100 |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-08-01 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국기계연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C509 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | - 본 장비는 유기물 또는 바이오 재료에 이온 형태의 금속을 극소량 침투 시킬수 있는 장비로 사용된다. - 이외의 용도로 다양한 산화물 질화물 순 금속등의 물질을 다양한 기판 또는 3D 형태의 물질위에 원자층 단위로 균일하게 증착할 수 있는 연구 장비로 활용된다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140529151725809.jpeg |
장비위치주소 | 한국기계연구원 연구13동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-188838 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201904198829 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |