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장비
장비 및 시설 기본정보
스테이지 교체형 고정밀 마스크 얼라이너 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스(주) |
| 모델명 | MDA-60MS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | -폴리머 기반 고종횡비 구조물 제작(종횡비 10:1 구현 가능) -금속/세라믹 고종횡비 구조물 제작을 위한 마스크 물질 패터닝 -건식 화학적 식각장비와 연동하여 금속/세라믹 고종횡비 구조물 제작 -경사 노광을 활용한 경사진 고종횡비 구조물 제작(폴리머) |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140512151044374.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구4동, 별동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-187512 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201904198833 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |