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장비
장비 및 시설 기본정보
마이크로 클리빙 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | LatticeGear |
| 모델명 | LatticeAx 225 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2019-02-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C516 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 광학현미경으로 위치를 확인하고, 다이아몬드로 작은 흠집을 내어 결정면을 따라 시료를 절단하는 방식으로서, 웨이퍼 상태 뿐 만 아니라 칩(chip) 상태의 조각 샘플을 절단하는 시편전처리 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201905/201905311062487.jpg |
| 장비위치주소 | 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-05-256033 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201908051208 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |