진공형 극저온 프로브 스테이션
| 기관명 | ZEUS |
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| 장비번호 | |
| 제작사 | 우신크라이오백 |
| 모델명 | OmniProbe, Vacuum Probe Station |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-11-02 |
| 취득금액 |
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 본장비는 Vacuum probe system 으로써 Base pressure는 1x10-7 Torr 이하이며 저온 ~ 고온에 이르는 온도 조절 및 가변온도에 따른 data적립이 가능한 장비이다. 최대 Sample size 50mm X 50mm 측정이 가능하며 Heating시간은 48시간/ 온도 800K에서 부속품의 내구성 문제가 없도록 설계가 되어있다. Heating stage 및 Cooling stage는 100 mm X 100 mm 의 XY Movement가 가능하며 Top door 장착 Type의 XYZ Manipulator (4 ea)의 정밀조작으로 간편한 Operating이 가능하다. 추가로 Leakage performance 50fA 이하이며 4 Point probe 와 기존 Probe station과 연계 PC Board control이 제작 되어있고 PC 및 PLC Control system이 구성되어 자동 제어가 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201012/20101230154121.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제4연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-131055 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0020948 |
| 첨부파일 |
| 과학기술표준분류 | |
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| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |