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장비
장비 및 시설 기본정보
원자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | ㈜파크시스템스 |
| 모델명 | NX10 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-01-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 미세한 물질표면 및 박막단면의 구조를 나노미터 수준에서 3차원적 형상(폭, 높이, 각도, 거칠기 등) 및 물리적, 기계적, 전기적 특성에 대한 영상화를 통한 물리, 화학, 재료, 생명공학, 고분자 등의 과학/기술 분야에서 표면의 극 미세한 3차원 입체구조 및 전기적, 자기적, 기계적, 물성 분석과 개발에 이용되는 나노미터의 분해능을 갖는 측정 장비. 장비 사양> 1. 이미지 능력 - 측정속도, 측정방향, 시료두께에 상관 없이 어떠한 측정환경에서도 이미지 왜곡 없음 (선형성 : 1 % 미만) 2. 기본장비 사양 및 성능 1) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 - 최대 샘플 사이즈 : 50mm x 50mm ( 두께 : 최대 20mm thick ) - 최대 샘플 중량 : 500 g - 샘플 이동거리(XY) : 최대 20mm x 20mm ( 고정밀 모터 스테이지 ) - 50 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역 : 최대 50 um x 50 um * 분해능 : < 0.05 nm * Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 1 nm 미만 (수직방향 / 소프트웨어 보정 없이 40 um 측정 시) - 수직(Z) 스캐너 : * 수직(Z) 측정 영역 : 최대 15 um * Noise floor : < 0.03 nm * 최대 주파수 : 7 kHz 이상 - 수직(Z) 스테이지 이동 : 25 mm - 캔틸레버 변형의 검출 방식 및 최대 주파수 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용 * 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50um 미만 ) / 최대 3MHz - SPM 측정 기능 : Contact AFM, DFM, NC-AFM, LFM, Phase Image, Force vs. Distance curve, Conductive AFM, I/V spectroscope, TR-PCM. 3. Phase Imaging ( Phase Detection Microscopy ) 1) Topography / |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160921142104_20130725000000165883 NFEC-2013-07-181321.jpg |
| 장비위치주소 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-07-181321 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048577 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |