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장비 및 시설 기본정보
아이피에이 건조기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아이디테크 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-03-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C525 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 특징 - IPA를 이용하여 4~8 inch wafer 를 건조하는 장비. - DIW 조에 웨이퍼 카세트를 담근후 IPA와 N2를 혼합시켜 증기형태로 조의 위쪽 2곳에서 분무시키고 DIW를 배수하면서 건조시키는 방법을 사용함. - IPA N2 DIW의 밸브를 조절하면서 건조성능을 평가하여 최적의 조건을 도출하여 사용함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110126190855.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-01-053040 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0013663 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |