장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

열증착기 및 통합형 글로브박스

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명	분석
시설장비 설명	본 장치는 유기물과 광전자소자를 제작하는 장치이다. 이런 유기물들은 수분과 산소에 매우 민감하게 반응하므로 완벽에 가까운 소자를 만들기위해서는 수분과 산소를 최대한 제거하고 고 진공 영역에서 제작 하여야한다. 본 장치는 이러한 조건을 만족하는 수분과 산소의 농도를 1ppm 이하로 유지시켜 주는 동시에 글로브 박스 내부에 장착된 진공 챔버를 고 진공으로 배기한 후 유기물을 증착 하게 된다. 위의 조건으로 완성된 소자를 글로브박스 안에 있는 특성평가 장치로 평가 후 포장하여 외부로 가지고 나옴으로써 완벽한 소자를 얻을 수 있는 최상의 장치 이다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131008112744585.jpg
장비위치주소	UNIST 104동
NFEC 등록번호	NFEC-2013-01-174478
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035304
첨부파일