| 보유기관명 |
울산과학기술원 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
C601 |
| 표준분류명 |
교육 |
| 시설장비 설명 |
급속가열웨이퍼열처리기는 heating방법이 코일이 아닌 Ramp에서 나오는 radiation energy를 직접 wafer만을 가열하므로 Thermal budet(열처리량)이 작아 공정 및 공정에 영향을 미치는 주변환경(atmosphere)의 제어가 용이하고 빠른 시간내에 공정을 처리하므로 공정제어를 쉽게 한다. 예를 들어 annealing를 순식간에 처리하므로 diffusion이 거의 발생하지 않는다. |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161027112745_20121016000000155410 NFEC-2013-02-175838.jpg |
| 장비위치주소 |
102동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-02-175838 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035476 |
| 첨부파일 |
|
