| 보유기관명 |
한국전기연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A400 |
| 표준분류명 |
기타 |
| 시설장비 설명 |
본 장치는 RHEED 장치로 부터 박막의 결정성 정보를 갖고 있는 RHEED 패턴을 실시간으로 촬영하여 디지털화 시키고 이를 정량적으로 분석할 수 있는 장치이다. ( RHEED 장치는 박막에 X선을 조사하여 그 회절을 분석함으로써 박막의 결정성을 분석할 수 있는 장치로 일반 XRD 장치와는 달리 진공 증착 장치 내부에 장착되어 박막 성장과 동시에 실시간으로 박막의 결정성을 분석할 수 있는 장점이 있다.) |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201511/2015112395353791.JPG |
| 장비위치주소 |
한국전기연구원 제2연구동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2015-11-206173 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059357 |
| 첨부파일 |
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