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장비 및 시설 기본정보
플라즈마기상증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | DC5500 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-09-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 저압 화학증착 시스템으로 RF 플라즈마를 이용하여, 여러 가지 물질의 증착이 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200712/20071226170738.jpg |
| 장비위치주소 | 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-050116 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057585 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |