- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
이빔 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVE-E2006 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-02-05 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 e-beam evaporator는 금속이나 금속 산화물등의 물질을 나노 미터 수준의 얇은 박막으로 증착하는 장비이다. 높은 전압을 이용하여 전자 빔으로 물질을 가열하여 증착을 하므로 다양한 금속 물질을 증착하는데 많이 사용되며, 금속 산화물도 증착이 가능하며, 일반적으로 sputtering 을 이용하는 증착보다 aspect ratio를 높게 증착할 수 있어, 옆면에 증착되는 양이 적어 패턴을 가지고 있는 표면 위에서 증착후 lift-off가 용이하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201302/201302271430855.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L5) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-176495 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054792 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |