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플라즈마스퍼터 코터

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명	ZEUS
장비번호
제작사	Cressington Scientific Instrum
모델명	ULTER-High
장비사양
취득일자	2009-03-23
취득금액

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국표준과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명	분석
시설장비 설명	금 은 크롬 백금/팔라듐 플라즈마 증착의 경우 공동활용이 가능함. 다른 금속의 경우 증착하고자하는 물질 타겟을 구비한 경우 사용이 가능하며 - Turbo pump 장착. - Sputter deposition 과정 중 sample stage의 tilt 및 회전 가능. - 금 은 크롬 백금/팔라튬 합금의 플라즈마 sputtering. - Scanning Electron Microscope (SEM) 시편제작 및 전극 제작에 활용Turbo pump 장착. - Sputter deposition 과정 중 sample stage의 tilt 및 회전 가능. - 금 은 크롬 백금/팔라튬 합금의 플라즈마 sputtering. - Scanning Electron Microscope (SEM) 시편제작 및 전극 제작에 활용 특징 박막두께센서 내장 균일한 금속박막 증착
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201104/20110411142200.jpg
장비위치주소	한국표준과학연구원 신소재동
NFEC 등록번호	NFEC-2009-06-071420
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0012940
첨부파일