산화막/폴리 증착기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 성진세미텍 |
모델명 | SV-ICS305B |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-07-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A313 |
표준분류명 | 분석 |
시설장비 설명 | 특징 -간단한 조작을 통해 저배율에서 고배율 확대 가능 -접촉 및 비접촉 기능으로 다양한 건사대상을 다양한 배율로 확대관찰 가능 구성및성능 - Camscope - 305B Probe - 특주 Stage Viewer - IT Plus Software - 8mm Lens 활용분야 - 접촉 및 비접촉 기능으로 다양한 검사대상을 다양한 배율로 확대관찰 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201308/20130819192358241.jpg |
장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-01-069482 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00004 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |