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미세형상측정 Microscope System / Ion Coater

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보유기관명	한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명	시험
시설장비 설명	ㅇ 원리 및 특징 - 필라멘트를 이용한 전자주사방식 / Ion Sputtering 방식 ㅇ 구성 및 성능 1. 주기기 주사전자현미경 (SEM)- (1) 기본 요구 사양 - Resolution : 3.5nm - Magnification : 10x ~ 100,000x - Accelerating voltage : 0.5kV ~ 30kV -Ion Coater- (1) 기본 요구 사양 - Sputtering system : Top Electrode discharge system - Target : 57mm dia. Au disk - Vacuum chamber : 120mm dia. x 110mm H 2. 보조기기 주사전자현미경 (SEM) - (1) 세부 요구 사양 - 본 과제에서 개발하고자 하는 연속성형 공정기술을 통해 성형된 패턴 형상으로부터 최대 300㎛ 이하의 측정이 가능할 것. - Ion Coater - (1) 세부 요구 사양 - SEM 측정하고자 하는 시료에 대해 균일하게 박막 골드 코팅이 가능할 것. ㅇ 사용예 및 활용분야 - 성형전후 substrate의 미세형상 측정 / 비금속류의 SEM 측정을 위해 샘플을 전도성으로 만들어주기 위한 ion coating
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160901110121_20090819000000044977 NFEC-2009-08-150433.jpg
장비위치주소	한국생산기술연구원 A동
NFEC 등록번호	NFEC-2009-08-150433
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00044
첨부파일