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장비 및 시설 기본정보
이온건과 플라즈마 발생장치-VS7039 Ion Beam Assited Deposition (IBAD) System
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 테라리더 |
| 모델명 | VS7039 Ion Beam Assited Deposition (IBAD) System |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 이온빔을 이용한 박막의 식각 및 증착 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images// |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 5동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-081687 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0052694 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |