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장비 및 시설 기본정보
공정 모니터링 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-08-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | 특징 MEMS/NANO 연구 개발에 있어 필수적인 공정 모니터링장비로 점차 구조물이 수마이크로에서 수나노미터 크기로 작아지면서 이를 신속하고 정확하게 관측, 측정하여 다양한 자료를 제공 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201308/2013082094835175.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-08-062632 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00002 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |