- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
마이크로 플라즈마를 이용한 화학기상 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 우신크라이오백 |
| 모델명 | MPECND-R5.0 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-09-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | - 수소를 주 반응가스로 이용 Microwave Plasma를 여기시키는 파워 장착 (micorwave plasma power generator)가 진공 chamber에 연결되어 화학기상 증착법으로 박막을 증착시킬 수 있는 장비 - 반응가스로는 수소, 메탄, 아르곤, 질소등 사용가능하나 플라즈마의 안정적 유지 관점에서 수소가스가 바람직함. - 메탄과 수소가스를 이용한 다이아몬드 박막 증착 - 박막증착 이외에 주로 수소 플라즈마를 이용하여 시편 표면처리 가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201502/20150224173231525.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 모니터링본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-04-201639 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0055725 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |